高低温真空探针台测试晶圆

在半导体制造和微电子器件研发中，电学测试是确保产品质量的关键。而高低温真空探针台，正是这一环节中的设备。它能在真空环境下，对芯片、晶圆等微纳器件进行电学测量，广泛应用于材料研究、失效分析和量产前验证等多个阶段。

一、为什么需要真空环境？

在大气环境下进行低温测试时，空气中的水汽容易凝结在晶圆表面，导致漏电或探针接触不良，影响测试准确性。而在高温测试（如300℃~500℃）中，氧化现象会加剧，可能导致器件电性漂移甚至物理形变。因此，真空探针台通过分子泵和涡旋泵抽走水汽和氧气，确保测试环境的纯净与稳定。

二、优势：真空与温度的协同控制

现代真空探针台具备真空-温度协同控制能力，可在30分钟内达到10⁻⁶ torr的高真空度，并支持液氮制冷与电加热复合控温，温控精度高达±0.1K，覆盖从77K到450K甚至更宽的温度范围，满足从低温到高温的多种测试需求。

三、多通道拓展

真空屏蔽腔体设计有效降低电磁干扰，支持皮安级微弱电流和μΩ级电阻的测量。设备标配4个探针臂，可扩展至6个，支持四线法测试、射频探针和光电协同测试，满足复杂器件的多参数测量需求。

四、应用场景

材料研发：在真空环境下测试钙钛矿、氧化镓等新型材料的高低温电学性能。

失效分析：结合SEM或FIB，对芯片短路、漏电等问题进行微米级定位。