在电子材料与半导体产业中,绝缘电阻测试是评估材料绝缘性能、器件可靠性的重要环节。随着功能材料(如陶瓷、高分子、压电薄膜)与半导体器件向高温、高阻、弱信号、宽温域方向发展,传统常温测试已无法满足研发与质控需求。
华测仪器高温绝缘电阻测试仪,是面向传统绝缘材料(如云母、陶瓷、工程塑料)的高温性能表征,应用范围是高温、真空/气氛环境、高阻测量,服务于材料研发、质量检测与老化评估。
华测仪器半导体高低温绝缘电阻测试系统,是面向半导体材料 / 器件(如晶圆、封装材料、功率器件),应用范围是宽温域(含低温)、弱信号分辨率、高一致性、自动化批量测试,适配半导体工艺研发与可靠性验证。
温度覆盖:RT~800℃(上限可达 1650℃),满足陶瓷、云母等高温绝缘材料测试
环境兼容:支持真空、气氛(惰性 / 氧化)、水冷环境,适配材料在严苛工况下的性能评估
加热技术:近红外镀金聚焦加热,升温快、受热均匀,无感应电流干扰;搭配水冷 / 气冷,实现快速降温
三电极法:减少表面漏电流,测量重复性与稳定性优异
控温精度:±1℃,移相触发技术温度波动小
测量范围:覆盖1X10^3 ~10^16 Ω·cm,满足高阻绝缘材料测试
温控模式:支持匀速、阶梯、循环、保温等多种程序,适配材料热稳定性与老化测试
操作交互:10 英寸触摸屏,Huacepro 软件支持中英文、断电数据保存、自动报表(Excel/PDF)
安全防护:过压、过流、超温多重保护,三轴连接器三层屏障,兼顾抗干扰与高压安全
专注传统绝缘材料的高温、不同环境下的绝缘性能测试,是材料研发与质量控制的主力设备
温度范围:-185℃~350℃,覆盖半导体器件低温到高温全温区测试
控温精度:0.5℃,测量前等待模式,确保样品受热均匀、数据重复性好
分辨率:电流分辨率达1fA,可捕捉半导体材料 / 器件的微弱漏电流
抗干扰:直流加热 + 滤波 + 三轴屏障,减少电网谐波与杂散电容干扰,弱信号测量稳定性强
数据处理:自动平均值功能,排除充电电流与接触不稳带来的偏差
面向半导体材料 / 器件的宽温域、弱信号、自动化绝缘电阻测试,是半导体研发与可靠性验证的测试系统
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