随着半导体器件、微型传感器、微电子元器件可靠性测试需求持续增长,批量样品同步开展漏电、电流特性测试的场景越来越普遍。传统单通道测试设备需要人工反复接线、轮换试样,测试效率低下,难以满足批量微弱电流并行采集需求。针对行业痛点,华测仪器推出HC-PAX 多通道电流矩阵模块,为多路微弱电流搭建自动化测试平台。
HC-PAX 采用模块化高密度硬件架构,以8通道作为标准基础单元,单机箱可拓展128通道;支持多机箱级联拓展,可达1024通道,可灵活适配实验室小批量试样测试与产线大规模测试等不同场景。模块搭载通道卡热插拔设计,系统无需停机断电,能够根据试验迭代规模随时增加或删减通道数量,减少系统前期投入成本,后期扩容便捷,设备复用性强。
在信号切换性能上,HC-PAX 内置高准度高速矩阵开关,通道切换时间低至 20ms,支持动态负载切换与连续高速扫描测试,电流测量区间覆盖 ±1pA~±100mA,量程跨度宽广,既能准确捕捉 pA 级微弱漏电信号,适配绝缘器件、半导体芯片微小漏电流表征,同时可完成常规直流电流检测,一套硬件兼顾微电流测试与通用电流测试需求。
普遍适用于半导体元器件、电子传感器、微电子器件、绝缘材料漏电筛查等测试场景,为可靠性测试、老化筛选、材料电学表征提供稳定可靠的多路自动化解决方案。
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