模块化高密度弱电流测试方案｜华测仪器 HC-PAX 多通道电流矩阵模块

模块化高密度弱电流测试方案｜华测仪器 HC-PAX 多通道电流矩阵模块

随着半导体器件、微型传感器研发与量产并行测试需求提升，传统单通道微弱电流测试设备通道数量有限、扩容困难、测试效率低，难以满足批量样品同步表征需求。华测仪器 HC-PAX 多通道电流矩阵模块，面向多路微弱直流测试场景，提供一套灵活、高准度、可规模化扩展的高密度电流控制方案。

HC-PAX 采用模块化架构，以 8 通道作为基础单元，各通道支持单独控制，可按需配置测试时序。通道卡支持热插拔，无需停机即可增减通道；单机箱可达 128 通道，多机箱级联拓展后支持 1024 通道，科研小试样测试、晶圆批量器件筛查、传感器产线老化测试等不同规模试验都可灵活适配，可降低前期硬件投入，优化设备复用性。

为攻克 pA 级弱电流测量难点，模块采用低热电动势电路设计，减少温度变化带来的热电电压干扰，降低基线漂移；同时优化信号通路，打造低漏电流传输路径，减少通道间串扰，保障微弱信号采集稳定可靠。模块电流测量区间覆盖 ±1pA~±100mA，宽量程兼顾皮安级漏电检测与毫安级常规电流测试，一套设备覆盖多种测试工况。

该模块可配套静电计、数字源表搭建自动化测试系统，普遍应用于半导体器件、传感器电学特性测试、高阻材料漏电表征等领域。在优化批量测试效率的同时，保证微弱电流数据重复性与准确度，为材料研发、器件可靠性验证、产线质检提供稳定可靠的多路电流测试支撑。