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半导体参数测试仪与MM探针台/系统集成

简要描述:半导体参数测试仪与MM探针台/系统集成支持二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量,准静态和中频电容-电压(C-V)测量,时域测量等。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-08-28
  • 访  问  量:2129

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详细介绍

品牌北京华测

半导体参数测试仪与MM探针台

功能:

可提供直流电压/电流输出,直流电压/电流测量和交流信号输出以及阻抗测量

主要技术指标:

探针台:

1.探针台主机:卡盘XY运动范围200mm*200mm,Z轴运动范围25mm

2.丝杆轴承确保移动,分辨率3.5um

3.针座:精度0.7um

4.加热台: 温度范围室温-400℃


半导体参数测试仪与MM探针台


半导体参数测试仪

1.直流I-V测试:

具有4路SMU,其中2路中等功率SMU,2路高分辨率SMU, 可同时测量电压分辨率0.5μV、电流分辨率0.1fA

2.C-V测试:频率1KHz-5MHz;偏置电压:±25V;测量精度±0.2 %

3.可实现C-V和I-V测量间自动切换,不会影响测量精度

4.脉冲IV:

提供两路快速IV/脉冲输出,具有任意波形产生功能

脉冲宽度:50ns;脉冲电平范围:-5V~+5V,+/-10V~0V (50 Ω负载);电压测量精度:±0.1%读值, ±0.1% 量程;电流测量精度:±0.1% 读值, ± 0.2% 量程

主要用途

支持二极管、三极管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量,准静态和中频电容-电压(C-V)测量,时域测量等。

半导体参数测试仪与MM探针台/系统集成

半导体参数测试仪与MM探针台/系统集成


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