探针台（小型）

一、产品简介

Huace-4S 小型探针台是北京华测试验仪器有限公司专为材料电学表征与器件测试研发的一款高性价比、轻量化手动探针台系统。该设备作为一种精密辅助执行机构，主要用于协助测试人员实现对微小器件或材料样品的精确电学连接，从而完成各类电性能参数的测量。

基本工作原理：测试人员将待测器件置于探针台载物台（Chuck）上，在显微镜观测下通过X-Y方向移动样品台，精确定位待测区域。随后，通过旋转探针座上的X-Y-Z三轴调节旋钮，控制前部探针（直流或射频探针）精确扎触至被测电极点，使器件信号线通过探针与外部测试机（如源表、LCR表、半导体参数分析仪等）形成导通回路，进而获取所需的电性能参数。

本产品以其结构紧凑、操作便捷、经济实用的特点，广泛应用于科研实验、高校教学及小批量生产测试等领域。

二、产品特点与应用

2.1 核心特点

• 多场景测试兼容：满足I-V/C-V特性测试、PIV测试、光电响应测试等多种应用需求；

• 大尺寸样品支持：可用于6英寸及以下规格样品的测试；

• 高精度传动：采用同轴丝杠传动结构，确保探针移动平稳线性；

• 环境适应性：结构轻巧，可放置于手套箱内使用，满足特殊气氛环境测试需求；

• 操作便捷性：人体工学设计，旋钮操作顺手，学习成本低；

• 经济实用：在保证基础性能的前提下，提供竞争力的价格。

2.2 典型应用领域

• 半导体器件测试：二极管、晶体管、MOSFET等基础器件电学表征

• 材料科学研究：二维材料、钙钛矿、有机半导体等新材料电性能研究

• 光电测试：光电探测器、太阳能电池的光电响应特性测量

• 失效分析：电子元器件故障定位与原因分析

• 教学实验：高校微电子、物理、材料专业实验教学

三、技术参数规格

3.1 台体系统参数

3.2 光学系统参数

3.3 定位器（探针座）参数

四、系统组成与工作原理

4.1 系统构成

Huace-4S 小型探针台主要由以下核心部件组成：

1. 底座与支撑结构：提供整体稳定性，承载所有部件

2. 样品台（Chuck）：用于放置和固定被测样品，具备X-Y-Z三向调节及旋转功能

3. 探针座平台：U型布局，用于安装多个探针座

4. 探针座（定位器）：独立的三轴微动平台，用于精确控制探针位置

5. 显微镜系统：用于观察样品表面和探针位置

6. 照明系统：提供充足、均匀的样品照明

7. 真空吸附系统：通过真空负压固定样品

8. 屏蔽与接地：降低外界电磁干扰

4.2 工作原理详解

4.2.1 机械定位原理

• 粗定位：通过移动样品台的X-Y旋钮，将待测区域移动至显微镜视场中心

• 精定位：通过调节探针座的X-Y-Z三轴微分头，控制探针针尖以微米级精度移动至目标电极点

• 接触控制：通过显微镜观察针尖与电极的接触形变，判断接触状态

4.2.2 电学测试原理

• 信号路径：被测器件 → 探针针尖 → 探针臂 → 同轴/三轴线缆 → 接头 → 外部测试仪器

• 背电极连接：通过样品台的4mm插孔引出背部电极信号，实现垂直结构器件的测试

• 漏电控制：高精度探针座采用三同轴设计，配合低噪声线缆，实现fA级微弱电流测量

4.2.3 光学观察原理

• 显微镜将样品表面放大16-200倍，通过目镜观察或CCD相机采集图像

• 环形光源提供无影照明，避免阴影干扰探针操作

五、操作指南

5.1 准备工作

1. 环境检查：将探针台置于平稳的工作台面，确保无强震动、无强电磁干扰

2. 样品准备：清洁样品表面，确保电极区域洁净

3. 探针选择：根据测试需求选择合适针尖直径和材质的探针

4. 仪器连接：将探针通过线缆连接至外部测试仪器（源表、LCR表等）

5.2 操作流程

5.3 操作技巧

• 先低倍后高倍：低倍镜下快速定位，高倍镜下精确对针

• 角度观察：适当倾斜显微镜观察角度，便于判断针尖与样品的垂直距离

• 轻触即止：探针接触电极时以刚产生电气接触为宜，避免过度扎入损伤电极

六、维护保养规程

6.1 日常维护

6.2 定期维护

6.3 常见故障排除

七、可选附件

为满足不同用户的多样化测试需求，Huace-4S 探针台提供丰富的可选附件：

八、订购信息

订购说明：

• 标准交货期：收到订单后15个工作日内

• 包装运输：专用木箱包装，物流送货上门

• 付款方式：电汇，预付50%，发货前付清尾款

九、售后服务

北京华测试验仪器有限公司秉承“服务至上”的原则，为客户提供全面的售后保障：

十、公司主营产品系列

北京华测试验仪器有限公司专注于材料电学测试领域，主要产品包括：