探针台(中端)

一、产品简介

Huace-6 中端探针台是北京华测试验仪器有限公司在深耕材料电学测试领域多年经验基础上，精心打造的一款高性能手动探针台系统。本产品定位于满足科研机构与工业企业对测试精度、样品兼容性及扩展功能的更高要求，在继承Huace系列产品操作便捷、经济实用等优点的同时，实现了关键性能指标的全面升级。

基本工作原理：测试人员将待测器件置于探针台载物台（Chuck）上，在显微镜观测下通过X-Y方向移动样品台，精确定位待测区域。随后，通过旋转探针座上的X-Y-Z三轴调节旋钮，控制前部探针（直流或射频探针）精确扎触至被测电极点，使器件信号线通过探针与外部测试机（如源表、LCR表、半导体参数分析仪等）形成导通回路，进而获取所需的电性能参数。

Huace-6 以其更优的机械稳定性、更宽的样品兼容性以及丰富的可升级选项，成为连接基础测试与应用之间的理想桥梁。

二、产品特点与应用

2.1 核心特点

• 宽样品兼容性：支持4英寸、6英寸、8英寸多种规格样品测试，适应更广泛的测试需求

• 高精度传动：采用精密同轴丝杠传动结构，确保探针移动平稳线性，定位精准可靠

• 光学系统升级：兼容高倍率金相显微镜，支持同轴光源照明，最高放大倍率可达4000×

• 扩展升级能力：可升级射频测试、大电流测试及激光修复应用，满足前沿研究需求

• 操作便捷性：人体工学设计，旋钮操作顺手，显微镜位置可灵活调节

• 机械稳定性：更扎实的底座设计，有效降低操作过程中的微震动

2.2 典型应用领域

• 半导体器件表征：二极管、晶体管、MOSFET、功率器件等电学性能测试

• 集成电路测试：芯片内部模块验证、失效分析

• 材料科学研究：二维材料、宽禁带半导体、铁电材料等新材料电学性能研究

• 光电测试：光电探测器、太阳能电池、LED的光电响应特性测量

• 射频器件测试：高频滤波器、放大器、天线的S参数测试（需选配射频配件）

• 功率器件测试：IGBT、MOSFET等高功率器件的I-V特性测试（需选配高压配件）

• 激光修复应用：配合激光系统实现芯片内部电路的精准修复（需选配激光配件）

三、技术参数规格

3.1 台体系统参数

3.2 光学系统参数

3.3 定位器（探针座）参数

四、系统组成与工作原理

4.1 系统构成

Huace-6 中端探针台主要由以下核心部件组成：

4.2 工作原理详解

4.2.1 机械定位原理

• 粗定位（样品台级）：通过移动样品台的X-Y旋钮，将待测区域移动至显微镜视场中心。样品台具备360°旋转功能，便于调整样品取向。±15°的微调功能配合0.1°刻度，可实现精确的角度对准。

• 精定位（探针座级）：通过调节探针座的X-Y-Z三轴微分头，控制探针针尖以微米级精度移动至目标电极点。不同精度等级的探针座（10μm/2μm/0.7μm/0.5μm）可满足从常规电极到亚微米电极的测试需求。

• 接触控制：通过显微镜观察针尖与电极的接触形变或反射变化，判断接触状态。经验丰富的操作者可通过手感判断接触程度。

4.2.2 电学测试原理

• 信号路径：被测器件 → 探针针尖 → 探针臂 → 同轴/三轴线缆 → 接头 → 外部测试仪器

• 背电极连接：对于垂直结构器件，通过样品台的4mm插孔引出背部电极信号，实现两端子或三端子器件的完整测试。

• 漏电控制：高精度探针座（100fA/10fA级）采用三同轴设计，配合低噪声线缆和良好的接地屏蔽，实现微弱电流的精确测量。

• 高频测试原理（选配）：射频探针配合特征阻抗匹配的线缆（通常为50Ω），连接至网络分析仪，实现S参数、增益、驻波比等高频特性测试。

4.2.3 光学观察原理

• 明场观察：光线垂直或环形照射样品表面，反射光进入物镜形成图像，适用于大多数常规样品。

• 同轴照明：光线通过分光棱镜沿物镜光轴垂直照射样品，适用于高倍率金相观察，可清晰显示样品表面细节。

• 图像采集：通过CCD相机将光学图像转换为数字信号，在显示器上实时显示，便于多人同时观察和记录。

五、操作指南

5.1 准备工作

5.2 标准操作流程

5.3 高级操作技巧

• 阶梯对针法：对于极小电极（<10μm），可采用“先低倍定位，再高倍精调”的分步策略，先用低倍镜将探针移至电极附近，再切换高倍镜进行最终对准。

• 角度观察技巧：适当倾斜显微镜观察角度，利用针尖在样品表面的投影判断垂直距离，避免下针过猛损伤样品。

• 接触电阻判断：通过测试仪器实时监测接触电阻，判断探针与电极的接触质量。接触电阻突增通常表示接触不良或针尖污染。

• 多点测试编程：对于重复性测试，可记录样品台坐标和探针座位置，实现半自动化的多点测试。

六、维护保养规程

6.1 日常维护

6.2 定期维护

6.3 常见故障排除

七、可选附件与升级方案

Huace-6 中端探针台提供丰富的可选附件和升级方案，满足用户不断发展的测试需求：

八、配置选型指南

为帮助用户选择的配置，我们提供以下选型建议：

8.1 根据样品尺寸选择

8.2 根据测试精度选择

8.3 根据测试类型选择

九、订购信息

订购说明：

• 标准交货期：收到订单后20个工作日内

• 包装运输：专用木箱包装，物流送货上门

• 付款方式：电汇，预付50%，发货前付清尾款

• 质保期：整机12个月（易耗品除外）

十、售后服务

北京华测试验仪器有限公司秉承经营理念，为客户提供售后支持：

十一、公司简介与主营产品

北京华测试验仪器有限公司是一家专注于材料电学测试技术的高新技术企业，集研发、生产、销售、服务于一体。公司依托中关村科技园区的创新资源，汇聚了一批在材料测试领域具有丰富经验的专业技术人才，致力于为科研院所、高校及工业企业提供高性能、高可靠性的测试解决方案。

公司主营产品系列：