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| 品牌 | 华测仪器 | 应用领域 | 综合 |
|---|
设备原理：
1. 辐射加热
红外镀金聚焦炉是利用高能量密度的红外光源作为加热源的辐射加热炉。炉体由铝合金制成，红外线反射面抛光，镀金，反高光。同时配置水冷装置。
2. 红外线灯
红外镀金聚焦炉是利用高能量密度的红外光源作为加热源的辐射加热炉。炉体由铝合金制成，红外线反射面抛光，镀金，反高光。同时配置水冷装置。
3. 反射光
反射镜是用曲率加工以提高反射率。反射镜有两种类型，一种是椭圆形的，另一种是抛物线型的，该模型rhl-e和vht-e系列有一个椭圆形反射器和适合的棒状样品加热，和其他模型：rhl-p,RHL PS和RHL PSS系列具有抛物线型反射器和适用于片状样品。
设备特点
1. 高速加热与冷却方式
高能量的红外灯和镀金反射镜允许高速加热到高温。同时体可配置水冷，增设气体冷却装置，可实现快速冷却。
2. 温度控制
通过红外镀金聚焦和温度控制器的组合使用，可以控制样品的温度。此外，冷却速度和保持在任何温度下可提供。
3. 清洁加热
反射镜是用曲率加工以提高反射率。反射镜有两种类型，一种是椭圆形的，另一种是抛物线型的，该模型rhl-e和vht-e系列有一个椭圆形反射器和适合的棒状样品加热，和其他模型：rhl-p,RHL PS和RHL PSS
4. 不同环境下的加热与冷却
北京华测 高真空退火炉加热/冷却可用真空、气氛环境，低温（高纯度惰性气体静态或流动），操作简单，使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。
设备结构：
序号 | 项目 | 数量 | 品牌 | 备注 |
1 | 炉体 | 1 | 华测 | 温度1200℃ |
2 | 加热源 | 1 | GE（） | |
3 | 温度控制器 | 1 | 华测 | |
4 | 电热偶 | 1 | omega | |
5 | 温控表 | 1 | 欧姆龙（） | |
6 | 稳压电源 | 1 | 华测 | 可定制 |
7 | 制冷水机 | 1 | 同飞 | 制冷功率8KW |
8 | 分子泵 | 1 | 莱宝（） | CF法兰，抽速≥40L/s，极限真空度优于-0.8Mpa |
结构:
温控系统：设备采用PID温度控制，同时采用移相触发技术保证试验温度，确保±1℃的均匀性，多区独立控温补偿边缘热损失；
• 根据设备上的温度控制器输入参数，您也可以简单输入温度程序设定和外部信号。另外还可以在电脑上显示热中的温度数据；
• 自适应热电偶包括JS、K、J、T、E、N、R、S、B、以及L、U、W型；
• 最大可设定32个程序、256个步骤的程序；
• 30A、60A、120A内置了SCR电路，所以范围很广。
• 腔体设计： 石英或碳化硅材质，耐高温且低污染，晶圆通过自动传输系统进出，减少人为干扰；
• 进口干泵： 抽速>120L/min，极限真空度≤4pa，噪音小于 52db；
• 进口全量程真空规：刀口法兰接口，真空测量范围 5×10^-7 Pa 到 1atm。
技术规格:
产品型号：Huace-800G/1200G/1450G
最大产品尺寸：6 寸晶圆或者最大支持150 x 150mm产品
温度范围：室温 ~ 1250 °C
最高升温速度：<100 ℃ /s 可编程（此温度为不含载盘的升温速度）< 25 ℃ /s（SiC 载盘）
温度均匀度：±5 °C ≤ 500 ℃ ±1 % > 500 ℃
温度控制重复性：±1 °C
温控方式：快速 PID 温控
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