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| 品牌 | 华测仪器 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 能源,航空航天,汽车及零部件,电气,综合 |
华测仪器Huace-800G真空晶圆退火炉
价格仅供参考，如需获取更详尽的产品技术规格书、定制方案或应用案例，欢迎致电我司技术工程师
Huace-800G真空晶圆退火炉由华测仪器生产，推出了采用高准度、高反射率抛物面搭配高性能加热源的解决方案，在升降温过程中仍能保持稳定均匀的温度场，可实现宽范围均热区、高速加热与高速降温。样品由石英管保护，无气氛污染，更适合半导体工艺使用。设备的反射镜采用高准度曲率设计，通过五轴加工系统制造，以维持更高的反射效率。反射镜主要分为圆形和抛物线型两种，可满足不同材料在不同温度控制条件下的测试需求。
产品参数
产品型号：Huace-800G/Huace-1200G/Huace-1450G
产品尺寸：6寸晶圆或150 x 150mm产品
温度范围：RT ~ 800/1200/1450°C
升温速度：＜100℃/s可编程（此温度不含载盘的升温速度）
＜25℃/s（SiC载盘）
温度均匀度：±5 °C ≤ 500 ℃
±1 % > 500 ℃
温度控制重复性：±1 °C
温控方式：PID 温控
应用领域
电子材料
半导体用硅化合化的PRA(加热后急速降温)
陶瓷与无机材料
半导体用硅化合化的PRA(加热后急速降温)
钢铁和金属材料
薄钢板加热过程的数值模拟
其他
高温拉伸压缩试验炉
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