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品牌 | HC/华测 | 应用领域 | 化工,能源,电子,电气,综合 |
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半导体封装材料真空探针台
半导体封装材料真空探针台产品参数:
腔体
样品台尺寸:2英寸
样品固定:样品固定
观察窗口:2英寸
真空度:10-6 torr
探针臂接口:最多6个探针臂接口
其他接口:电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式:液氮 / 液氦
控制方式:开循环手动
温度范围:77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K
温度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K
稳定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K
显微镜
X-Y-Z 移动行程:50mm×25mm×13mm
结构:外置探针臂,真空波纹管结构
移动精度:10μm / 1μm
光源:外置LED环形光源 / 同轴光源
CCD:200万像素 / 500万像素 / 1200万像素
探针座
X-Y-Z 移动行程:X-Y-Z 移动行程
结构:外置探针臂,真空波纹管结构
移动精度:10μm / 1μm
探针夹具
线缆:同轴线 / 三轴线 / 射频线
漏电精度:10pA / 100fA / 10fA
固定探针:弹簧固定 / 螺丝固定
接头类型:BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口
探针
射频支持:DC-67GHZ
针尖直径:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材质:钨钢 / 铍铜
真空组件:分子泵组 / 机械泵
冷源组件:50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机
外形重量:730mm×750mm×1265mm(长宽高) 约100kg
防震桌参数:
气浮隔振防震桌
隔振方式:隔振方式
材质:不锈钢 / 碳钢
平面度:0.05mm / m2
粗糙度:<0.8μm
孔距:25×25mm
孔径:M6
平台尺寸(长宽):可定制
平台厚度:50 / 100 / 200mm
固有频率:.5Hz - 2Hz
支撑腿:气浮支撑腿
支撑腿数量:4个 / 6个
支撑腿高度:800mm±10mm
其他:内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制
产品参数:
腔体
样品台尺寸:4英寸
样品固定:样品固定
观察窗口:4英寸
真空度:10-6 torr
探针臂接口:最多6个探针臂接口
其他接口:电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式:制冷机
控制方式:闭循环自动控制
温度范围:4.5K ~ 450K
温度分辨率:0.1K / 0.01K / 0.001K
稳定性:±1K / ±0.1K / ±0.01K
显微镜
X-Y-Z 移动行程:50mm×25mm×13mm
结构:外置探针臂,真空波纹管结构
移动精度:10μm / 1μm
光源:外置LED环形光源 / 同轴光源
CCD:200万像素 / 500万像素 / 1200万像素
探针座
X-Y-Z 移动行程:X-Y-Z 移动行程
结构:外置探针臂,真空波纹管结构
移动精度:10μm / 1μm
探针夹具
线缆:同轴线 / 三轴线 / 射频线
漏电精度:10pA / 100fA / 10fA
固定探针:弹簧固定 / 螺丝固定
接头类型:BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口
探针
射频支持:DC-67GHZ
针尖直径:0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材质:钨钢 / 铍铜
真空组件:分子泵组 / 机械泵
冷源组件:50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机
外形重量:730mm×750mm×1265mm(长宽高) 约100kg
防震桌参数:
阻尼隔振防震桌
隔振方式:高级复合材料隔振
材质:不锈钢 / 碳钢
平面度:0.05mm / m2
粗糙度:<0.8μm
孔距:25×25mm
孔径:M6
平台尺寸(长宽):可定制
平台厚度:50 / 100 / 200mm
固有频率:6Hz - 8Hz
支撑腿:阻尼支撑腿
支撑腿数量:4个 / 6个
支撑腿高度:800mm±10mm
其他:内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制
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